技术编号:5889863
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及微电子机械系统(MEMS)压力传感器领域,具体为一种MEMS压力 敏感芯片。背景技术基于微电子机械系统(MEMS)的微机械敏感器件以其体积小、成本低、结构简单、可 与处理电路集成等优点得到广泛应用和迅速发展。MEMS压力传感器,是微电子机械系统(MEMS)中最早的商业产品,由于MEMS压力敏 感芯片具有输出信号大、信号处理简单等优点,已经得到了越来越广泛的应用,目前市场上 的MEMS压力敏感芯片,其包括MEMS相对压力敏感芯片、MEMS绝对压...
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