技术编号:5889981
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及薄膜测量,具体涉及一种大口径单层薄膜厚度全场检测直O技术背景随着科学技术的发展,光学薄膜已广泛应用于军事武器装备和国防基础建设。光 学薄膜的主要光学参数包括折射率、膜层厚度、反射比、透射比、散射比和吸收比等。在以 上参数中,针对薄膜的反射比、透射比等技术的研究目前已经比较完善。而对于大口径全场 薄膜厚度的高精度检测目前还没有一套比较完善的检测系统,而薄膜厚度参数对薄膜的设 计和工艺制造都是不可缺少的。当前常用薄膜厚度的光学测试方法很多,特点各...
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