技术编号：5890274
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明主要涉及到光学精密測量，特指ー种基于外差干渉信号的相位解调方法。背景技术“激光外差干涉技术”是给干涉条纹的变化引入ー个载波，使普通干涉测量的直流信号系统转变为外差干涉测量的交流信号系统，从而大大增强系统的抗干扰能力和稳定性，它具有測量精度高、响应速度快、測量范围大、信噪比高、能够克服方向模糊且不受光强变化影响等优点，已被广泛应用于光学精密测量领域和纳米技术测量领域。然而，常规的普通外差干涉系统也存在着激光器外差频率不稳、波动较大的问题，这将直接影响到...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。