技术编号：5890415
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种高精度光栅检测技术，特别是一种高密度光栅表面质量无损检测的方法和装置。背景技术光栅是一种非常重要的色散光学元件，实际使用过程中需要对光栅的质量进行检测，由于光栅属于高精度光学元件，光栅的栅线很精细，所以不仅需要对其进行宏观测量，而且还需要局部的高精度表面质量检测。通过对光栅参数的宏观测量，例如衍射效率和衍射角等，可以得到光栅许多实用的参数信息。有时仅仅测量这些宏观参数是不够的，人们仍然希望得到光栅表面的局部特征参数，这些光栅局部的详细信息对光...
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