基片检查装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5890708

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本发明涉及基片的检查装置,特别涉及用肉眼检查液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)或类似部件的基片的缺陷的装置。背景技术 众所周知,在用于检查液晶显示器(LCD)、等离子显示器(PDP)、或类似部件的基片的装置中,有一种装置能够把宏观观察转变为微观观察。在宏观观察中,照明光线被直接投射到玻璃基片的表面上,并观察缺陷部位,例如裂纹或斑点。在微观观察中,把宏观观察中检查出的缺陷放大并且进行更精确的观察。在用于检验基片的现有技术的装置中,日本公开专利No....
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