技术编号:5890868
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型有关于一种自动光学检测系统,特别是一种可校正扫描影像位移的自 动光学检测系统。背景技术自动光学检测(Automated Optical Inspection, AOI)系统已广泛应用于外观检 测上,例如薄膜晶体管液晶显示器(TFT IXD)、半导体芯片与印刷电路板(PCB)等工业工艺 上。自动光学检测系统是利用光学方式取得待测产品的表面影像后,再以影像处理技术来 检出异物或图案异常等缺陷。由于影像撷取装置的视野小于待测产品的面积,因此,影像撷取装...
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