技术编号:5891914
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及用于检查基片的装置,尤其涉及这样一种用于检查基片的装置,该装置中采用一种能进行多自由度运动的平行操作装置,以便在检查基片表面时容易地将LCD(液晶显示器)基片或类似物放置在所需位置。背景技术 众所周知,当一个玻璃基片以不同角度倾斜和/或转动时,一个宏观基片检测(检查)装置使基片表面的斑点或裂纹等缺陷随着光线的变化能够被观察到,以便检查出LCD或PDP(等离子显示器)基片表面的缺陷。现有技术的一种宏观基片检测装置包括一个系统,在该系统中,一种X-Y...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。