技术编号:5892863
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明是关于一种位移量量测装置,尤指一种二维位移量的量测装置。背景技术 传统的二维位移量量测模组是由两组正交的一维位移量测模组所组合而成,其中,常见的一维位移量测模组诸如一维光学尺、磁性尺、电子测头(Linear Variable Differential Transformer,LVDT)、激光干射仪等装置。然而,前述的二维位移量量测模组仅适用于低精度系统,若应用在高精度系统中,则较难达成高精度系统的要求。例如两轴间的正交精度、干涉仪的分光镜/反射镜和光...
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