技术编号:5894415
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及应用在净室中的一种粒子计数器,具体涉及一种改进的表面粒子 计数器。背景技术表面粒子计数器是一种用于检测物体表面上的尘埃颗粒的仪器。当前所使用的表 面粒子计数器主要由采样模块、检测模块和信号处理与显示模块组成,所述采样模块用于 采集物体表面上的尘埃颗粒,通过泵体、吸气管路和吹气管路等组成,所述检测模块主要包 括粒子检测器,用于检测采样气体的尘埃颗粒,并最终通过信号处理与显示模块向工作人 员显示检测结果。然而,当前所使用的表面粒子计数器往往存在采...
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