测力单元组合式六维加速度传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5895216

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本发明涉及一种加速度传感器设计制造领域,特别涉及一种测量空间三维线加速 度和三维角加速度的测力单元组合式六维加速度传感器。背景技术加速度传感器按测量坐标系来分,可分为惯性式和相对式两大类,按测量的维数 可分为单维和多维加速度传感器,惯性式加速度传感器通过测量质量块所受的惯性力来间 接检测加速度,其一般是由弹性体,应变片(或其他元件)和转换电路组成,当存在加速度 时,弹性体受到惯性质量块惯性力的作用而发生变形,通过应变片或其它检测元件和转换 电路得到相应的线...
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