技术编号:5895399
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种传感器结构,尤其是一种带有模块化性质的微小充油扩散硅 传感器。背景技术目前,公知的压力传感器普遍采用压电式、应变式或者压阻式结构的原理,压电式 压力传感器的输出信号为电荷变化量,要转换成压力的直观变化,需要对后续的电信号进 行处理,但是该种传感器不适合在高温环境下使用,也不具有高的过载保护能力。压阻式压 力传感器中,最常用的传感器结构是充硅油硅压阻压力传感器。应变式压阻压力传感器由 于受结构影响,具有较大的线性、迟滞等静态误差。充硅油硅压...
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