技术编号：5899540
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种半导体失效分析设备，具体涉及一种便于拾取TEM样品的样品台。背景技术在半导体失效分析方法中，TEM(Transmission electron microscopy透射电镜) 分析日渐趋于主导。TEM分析需要制备TEM样品，在TEM样品制备完成后需进行TEM样品的 Pick-up(拾取)。也就是采用玻璃针20，将样品10拾取到针尖部位，如附图说明图1所示。但是，在 拾取TEM样品的过程中，出现失败的概率很高。经常发生的是，在Pick-up...
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