技术编号：5899919
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及三维检测装置，更具体地说是并行全场光学三维检测装置。背景技术共焦测量方法由于其高精度、高分辨率及易于实现三维成像数字化的独特优势在生物医学、半导体技术等领域得到广泛应用。但是传统的共焦扫描测量方法机构复杂，速度慢，越来越不适应现代半导体在线快速检测的要求，近年来一种基于微光学器件的非扫描并行共焦技术引起普遍关注。这种方法通过微光学器件，实现对光束的分割，从单点扫描变为多路并行探测，同步对被测表面的不同点进行瞄准检测，从而实现全场同步测量。在传...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。