半导体基片导电自动测试装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5900537

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本实用新型涉及半导体制造,涉及一种工具设备,具体地说是涉及一种 半导体基片导电自动测试装置。背景技术半导体基片具有多排多列晶块,晶块焊接在基板上,如果其中的一个晶块在基板 上焊接不良就会影响半导体基片的性能,检测晶块焊接的牢固与否是可以检测晶块的导 电情况,导电良好,其焊接就牢固,否则就存在假焊现象,在现有技术中,检测使用的是万用 表,由于晶块的线路多,具有使用麻烦的缺点;另外,其还具有不适合批量大生产的需求,比 较先进的万用表具有多组接头,也有叫电阻测试...
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