一种硅微机械陀螺仪的制作方法技术资料下载

技术编号:5900542

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本实用新型涉及陀螺仪技术,尤其涉及一种硅微机械陀螺仪。 背景技术硅微机械陀螺仪根据有无驱动结构可以分为两种类型有驱动结构的硅微机械陀螺仪和无驱动结构的硅微机械陀螺仪。有驱动结构的硅微机械陀螺仪适用于非旋转载体; 而无驱动结构的硅微机械陀螺仪利用旋转载体驱动,适用于旋转载体。目前大多数硅微机械陀螺仪都属于有驱动结构的陀螺仪。有驱动结构的微机械陀螺,由自身驱动产生线性振动,线振动与载体旋转运动按右手定则产生哥氏加速度,从而使敏感结构产生第二振动模式,此模式与第...
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