一种镊子型硅料导电类型测试装置的制作方法技术资料下载

技术编号:5901684

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本实用新型涉及光伏或半导体领域,尤其涉及一种不规则的细碎硅料的导电类型测试装置。背景技术在光伏产品的加工过程中,很多工序都会产生一些细碎的硅料,这些硅料包括P 型硅料、N型硅料以及电阻率低的重掺硅料,如果要将这些细碎硅料重新用作多晶硅铸锭或是单晶拉制的原料,必须严格控制这些硅料的导电类型和电阻率。因为导电类型和电阻率是反映半导体电学性能的重要参数,不同类型、不同型号的半导体器件要求采用不同电阻率的材料制作。目前,用于检测半导体硅材料导电类型的方法很多,但使...
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