技术编号：5903150
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实 用新型属于微机电系统(MEMS)，特别是一种集成了敏感结构和处 理电路的表面摩擦剪切应力传感器。背景技术表面摩擦剪切应力传感器是测量气体流经固体表面时与固体表面摩擦剪切应力 的器件，应用于流体力学和航空航天领域。表面摩擦剪切应力的测量可以通过直接方式或 者间接方式，其中间接方式的测量不适合流速较高的流体。对于直接测量传感器，一般采用 MEMS技术加以实现。MEMS技术所具有的小型化特点使得表面摩擦剪切应力传感器具有较 高的时间和空间分辨率，从而不仅提...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。