技术编号:5905234
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开一般地涉及具有被支撑在基板上的传感器桥的传感器,更具体的,涉及用于增加传感器桥与基板间热隔离的方法和构造。背景技术若干类型的传感器,例如流量传感器以及其它类型的传感器,包括被支撑在基板上的传感器桥。这些传感器可被使用在广泛的应用中,例如包括,医疗应用、工业过程应用、 商业应用、军事应用、燃烧控制应用、飞行控制应用、实验室应用、天气监测应用以及其它应用。在某些情况下,这些传感器可包括位于传感器桥上的加热器和/或一个或多个热传感器。发明内容本公开一般地涉...
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