技术编号:5906880
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种基于牛顿法和泰伯效应的微透镜焦距的检测方法,属于光学检测领域,该方法操作简便易行,测量精度较高。背景技术作为微小光学和阵列衍射光学的重要部件,微透镜及其阵列元件因为其高衍射效率,宽工作波段,易微型化及集成化等优点,被广泛应用于光束波前检测、光耦合及存储、光学均匀性照明、三维成像等。与普通透镜类似,焦距是微透镜及其阵列元件的重要衡量参数。尽管透镜焦距的检测手段非常丰富,研究人员依然在寻找新的检测方法,实现对微透镜及其阵列元件的焦距高精度测量。对...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。