技术编号：5908790
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机械与集成光学领域，涉及微生化芯片上的光探测器。背景技术吸收光度检测是一种应用广泛的通用光学检测方法，它已成功地应用在生化样品的结构分析和浓度的测量上。微型生化芯片可望把样品池，探测单元以及其它部分集成到一个芯片上，以实现系统的微型化、便携化、消耗样品量微量化。虽然吸收光度检测已经被用于微型生化芯片，但是由于微生化芯片探测池小，导致吸收光程短，吸收光谱的相对灵敏度低，应用受到很大的限制。微生化芯片上的利用光波导耦合困难，制作成本较高。本发明的详...
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