技术编号:5912268
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种硅棒检测装置,具体为一种硅棒同心度检验装置。 背景技术对硅棒进行加工时,同心度的检测一般采用高精度的专用同心度检测仪。该类检测仪能够精确检测出所加工硅棒的同心度,精密度高,但该检测仪在使用时操作繁琐,仪器本身价格昂贵,且对工作环境要求较高,不便于大生产中快捷准确地进行产同心度品的测量。实用新型内容针对现有技术中存在的问题,本实用新型的目的在于提供一种硅棒同心度检验装置的技术方案。所述的硅棒同心度检验装置,其特征在于包括底板、硅棒定位盘和百...
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