技术编号:5913446
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种定位传感器,更具体地说,本实用新型涉及一种用于扫描隧道显微镜的步进电机的容性定位传感器。背景技术目前,在扫描隧道显微镜(STM)上,粗进针步进电机的定位主要依靠压电陶瓷作传感器,利用压电陶瓷的机理来实现的。这种电机主要由压电陶瓷传感器、信号放大系统、数据采集系统和微机软件系统组成。由于用于这种传感器的压电陶瓷材料本身价格较高,且国内不能生产,传感器制作安装需要专门的技术,再加上精确的前置放大器和微机系统等,造成价格非常昂贵。尽管测量的精度...
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