技术编号:5914009
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种主轴回转误差的测量装置,尤其是涉及一种主轴五自由度回转误差的光学测量装置。背景技术高精度主轴是纳米金刚石车床、精密加工中心、硬盘驱动器、高精度旋转电机、大型汽轮发电机等超精密装备或大型基础装备的关键部件,主轴的运动误差对整机的工作精度、性能有着直接的影响。例如,金刚石车床主轴的运动精度,直接影响加工工件的形状精度和表面粗糙度。有相关实验表明精密车削的圆度误差约有30% 70%是由于主轴的回转误差引起的,且机床的精度越高,所占的比例越大。主...
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