技术编号:5914423
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于金刚石涂层,特别是提供了一种对直流电弧等离子体金刚石化学气相沉积过程中沉积温度进行实时测量的光纤式沉积温度的测量装置,利用它可在对硬质合金工具表面涂敷金刚石涂层时对被涂层的硬质合金工具的沉积温度进行实时的监测,并使得对于其沉积温度的控制成为可能。背景技术以化学气相沉积法(CVD)制备的金刚石涂层具有许多独特的特性,如极高的硬度和抗磨损能力、低的摩擦系数、高的热导率和化学稳定性等。将金刚石作为保护涂层制成的硬质合金金刚石涂层工具兼备了金刚石的高...
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