技术编号：5914610
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及元件光洁表面缺陷检测的装置，尤其涉及一种激光辅助光洁表面体缺陷检测装置。背景技术目前在我国，对表面光洁的一类对象的缺陷检测都是采用目视的方法，将白炽灯聚于被检测元件表面，人眼利用透射和反射方法逐个小区域的观察由表面缺陷产生的散射光像，最终作出一个人为主观大致定量的结论，判定其是否为合格产品，这种检测方式由于主观因素介入导致检测的准确度低及效率不高，特别是对于大批量的生产，更是存在生产速度快和检测速度慢这一突出的矛盾。因此自动化的缺陷检测系统，...
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