技术编号:5914822
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及超精密加工和力学性能测试领域,特别涉及一种多种类型微载荷检测装置。可应用于超精密加工技术及装备、精密光学以及航空航天等领域,特别是微载荷检测和微纳米尺度力学性能测试等,本实用新型可实现多种类型载荷的检测,在表面形貌检测、微纳力学测试等领域具有良好的应用前景。背景技术近年来,随着微电子学、生物医学、光学、数据存储、超精密机械及其制造等学科的迅猛发展,人们对多种类型微载荷进行同时检测提出了越来越高的要求。传统的微载荷检测通常是仅能检测一个方向或是...
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