技术编号:5916526
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及光栅编码器的指标光栅,特别是一种等位裂相指标光栅。背景技术光栅编码器的光电读数放大器的一般工作原理是光信号通过指标光栅(静)和圆光栅(动)照射到光电器件上,光电器件就能输出响应光信号的电信号。由于指标光栅和圆光栅的载体的缺陷和制作上的缺陷(有时还有零线的干扰和其它干扰),光电器件输出的电信号中就含有反映这些缺陷和干扰的噪声,从而使光栅编码器的信号精度下降,频带变窄。公知的解决方案是在指标光栅上裂相设置光栅区,如德国海登哈因(Heidenhai...
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