技术编号:5917892
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及晶体生长领域,具体涉及一种测量籽晶熔化面和晶体生长面位置的装置。背景技术在晶体的生长过程中,籽晶的融化程度、晶体大小以及生长速度对晶体生长工艺至关重要。目前在从坩埚底部开始生长晶体的各种工艺中,准确测量籽晶融化程度、晶体大小以及生长速度等问题未能得到有效解决,一般仅凭借经验来估计相关数据,显然所得到的数据并不准确,这对晶体的生长过程产生了不利影响。发明内容为了克服现有技术中从坩埚底部开始生长的晶体在生长过程中难以准确测量晶体位置的问题,本实用...
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