技术编号:5918564
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及基于微机械加工实现测量加速度的传感器微结构,尤其是一种微电子加速度传感器,属于微电子机械系统。背景技术加速度是反应系统外界环境和自身状况非常重要的参数,对环境监测、系统自身状态识别有重要影响,因此快速准确测量出加速度具有重要的实际意义。众所周知,利用机械加工的加速度计虽然也能测量加速度,但这些机械装置因具有移动部件而易磨损,同时具有体积大,价格昂贵,需要经常维护等缺点。典型的液浮式加速度传感器结构较大,相对功耗也比较高。基于MEMS (微电子...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。