技术编号:5919647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种微小流量计量标准装置,尤其是涉及一种电驱动活塞式液体微小流量计量标准装置。背景技术随着半导体制造业、生物工程、医学化工等行业的兴起,使流量测量向低端延伸, 小流量微小流量的测量需求渐渐凸显起来。对于微流体的研究以及微小流量计量精度的需求也引起了越来越多的科学工作者的重视,而微小流量计量则成为了当下流体计量领域急需的计量技术之一。传统的液体流量标准装置流量源的产生办法有两种,一是恒压流量源,这种方法流量稳定,但一般稳压设备体积庞大,费用较高...
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