技术编号:5923432
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种在线多点监测薄膜光学特征的仪器,该仪器可广泛应用在连续作业的镀膜机中,用以在线监测例如ITO透明导电薄膜、ITO玻璃等透明材料的光学特征。背景技术近年来镀膜产品的应用领域逐步扩展,市场需求也是呈现上升趋势,例如ITO导电薄膜,在触摸屏市场扩张的带动下ITO需求量供不应求,为了提高生产效率,连续作业的镀膜机正快速发展,而在这类镀膜机当中一个重要的问题是如何在机器运转的情况下监测镀膜的形成质量。过去,在无有效的监测方法之前,镀膜过程中无法掌控...
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