技术编号：5923486
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及电子监控系统，尤其涉及一种洁净室尘埃粒子在线监控系统。 背景技术目前洁净室采用台式尘埃粒子计数器、压差计和温湿度计等仪器进行流动式测试，首先布置采样点平面图，然后用台式尘埃粒子计数器流动式测试各个采样点的空气粒子个数，最后将数据输入电脑，整理数据，绘出尘埃粒子分布图。根据洁净室设计规范，布置采样点时，采样点个数是用洁净室面积开平方确定的。 这些点仅仅是洁净室大环境下的尘埃粒子测试点，不包括相关工序上的尘埃粒子控制点， 粒子计数传感器安装不灵活...
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