技术编号:5924574
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种压力谐振元件。 背景技术目前压力高精度测量多采用谐振式传感器,采用石英力敏元件的产品已被广泛应用,该种产品是通过膜盒或波登管等弹性结构将压力传递到力敏元件上。这种产品具有测量精度高的优点,但其力传递的结构复杂性和稳定性受结构和材料特性的影响大等因素的影响造成其使用的局限性。如在膜盒或波登管等弹性力学结构中金属材料与石英力敏元件之间通常采用胶粘剂或玻璃粉等材料进行粘接,各材料之间线胀系数不同,因此材料间的热性能不匹配、胶粘剂的蠕变和失效、装...
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