技术编号:5926434
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种应用于坐标定位机如坐标测量机、机床、手动坐标测量臂或检验机器人上的扫描探针,以测定位置或一个表面的轮廓。背景技术 一种坐标定位机的已知类型包括,例如相对于一个可支撑工件的桌子用于在相互垂直方向上运动的一个支撑臂,以及用于测量臂相对于桌子的参考位置或基面位置的传感器。扫描探针通常包括一个相对固定的结构,如外壳,支撑在支架组件上的触头,该触头用于相对于固定结构作三维运动,以及用于测量相对于固定结构上参考位置的触头位置的传感器。使用中探针的固定结构...
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