技术编号：5926698
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光学计量领域，用于确定样品例如薄膜的性质。微电子器件的制造通常包括淀积和构图多层金属和电介质层。膜厚度测量的光学技术最适合于工业工艺控制，因为它们通常是很快、非接触且非破坏性的。然而，金属膜厚度的光学测量存在着一个具有挑战性的问题，这是由于金属膜通常不透明造成的。以前使用了称为热波检测的光学测量来测量样品的多种不同的材料性质，如膜厚度。在热波检测测量中，周期性调制的激磁束加热样品。测量反射的探测束的强度变化来监测在膜表面处周期性的温度变化。然后使...
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