技术编号：5927631
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及到元件检查系统。更具体地说，本发明涉及到用于元件检查的系统和方法，此系统和方法采用镜面反射或非朗伯反射数据来测量诸如凸块高度的特征高度。背景技术 采用图象数据的检查系统在本中是熟知的。这种检查系统通常利用已经由相干或不相干源照射的元件的图象数据，然后对图象数据进行图象分析处理，以便确定元件是否符合预定的条件。例如，图象数据分析被用来确定元件是否被适当地掩蔽，特征是否在正确位置，或是否具有其它规定的标准。在这方面，“特征”可以包括诸如接触之类的希望...
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