技术编号：5928122
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及检测技术，尤其涉及一种硅棒碰壁检测装置。 背景技术西门子法多晶硅的还原生产中，还原炉是生产多晶硅的主要设备，炉内装有高度为2. 0m—2. 8m、直径只有Φ 7— 8mm的硅芯，通过调功电源加热硅芯使炉内的温度维持在 1080°C，此时硅芯逐渐溶化变软，在通入一定比例的三氯氢硅及氢气的混合气体后，硅芯开始生长变粗，当达到一定的粗度时停炉，多晶硅提炼成功。然而，整个的生产过程中经常会遇到硅棒的碰壁问题。在硅棒的生长初期，由于硅芯细而软，炉内稍有...
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