技术编号：5929724
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种三维扫描装置，尤其涉及一种椭偏光三维扫描装置，该扫描装置用于对微观三维形貌和形貌纹理进行扫描。背景技术现有的三维形貌扫描采用水平纵向扫描，仅仅对观察样本进行纵向扫描，不能全方位大尺度的对三维表面进行扫描，且常受到显微镜分辨率、视场和二维平面的限制，引起分辨率低、色彩失真现象的发生。比如激光共焦显微镜采用三种激光分别进行扫描得到物体表面颜色，所以容易失真。普通显微镜又受到五个方面的限制1)分辨率限制；幻焦平面限制；；3)视场限制；4)三维观...
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