微桥结构的制作方法技术资料下载

技术编号:5930054

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本发明涉及制作微桥的一种方法与微桥的一种新结构,此种结构例如可以用在探测入射辐射的成象器件上。本发明自热成象领域产生,但并不必局限于该领域。基于热探测器的二维阵列的红外成象摄像机因其工作在室温附近而具有吸引力。用于红外成象的热探测器仰赖于传感材料吸收红外辐射而产生的温度变化。现场的温度每变化1℃导致探测器中大约0.001℃的温度变化,因此试图使被吸收的辐射量最大化是重要的。传感材料具有温度相关的性质,此种性质允许温度上的变化幅度能够应用电子学线路来探测、放...
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