技术编号:5930575
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。用于连接反应腔室和光谱仪的连接结构及反应装置[0001]本实用新型涉及一种半导体领域,尤其涉及用于反应腔室和光谱仪的连接结构和反应装置。背景技术[0002]目前,在用于半导体生产的反应装置中,经常采用光谱仪检测反应腔室中的变化。 例如,在蚀刻工艺中,将光谱仪密封连接到反应腔室的检测口中,用于检测反应腔室中的元素变化,以确定蚀刻反应是否已经完成。[0003]请参阅图1,通常,现有的光谱仪120通过螺栓组件130直接连接到反应腔室110 的检测口 111上,光...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。