技术编号：5931852
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。一种射频及混合信号集成电路测试系统校准装置[0001]本发明涉及集成电路测试系统计量与测试，具体地说是一种适用于射频及混合信号集成电路测试系统的校准装置。背景技术[0002]集成电路测试系统是半导体集成电路的设计、生产、使用中进行量值测量的设备。 作为一种测试系统，其本身的准确性与可靠性将直接影响整个测试过程，只有计量过的集成电路测试系统才能确保其所复现的量值能通过一条不确定度已知的溯源链与基准量值相联系。一般集成电路测试系统都配有自检软件，但这些检验都是...
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