技术编号:5932733
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种测量装置,尤其涉及一种准单晶硅片外观测量装置。 背景技术目前市场中出现了用多晶铸锭的方法生产准单晶硅的方法,该方法将单晶、多晶优势相结合,提高产品的竞争力,通过上述方法制作的准单晶硅片除了包含大面积单晶晶粒,通常不可避免地出现部分随机生长的多晶晶粒。单、多晶晶粒面积占整个硅片面积的比例是准单晶硅片的一个重要技术参数,用来评价准单晶硅片质量。但是,缺少一种观察测量装置,往往需要采用多种复杂的量具参与才可实现精确的数据对比,不利于推广。实用新...
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