一种压电薄膜力传感器的制作方法技术资料下载

技术编号:5933311

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本发明属于传感器及其测控,特别涉及冷锻压装置(如钢球冷锻机)的压电薄膜力传感器,可用于测量空 间大量程冲击载荷。背景技术压电式测量方式为巨大冲击力的测量提供了可靠的解决办法。压电片不需要外部激励源。压电片的输出通常体现在正压力作用时单位面积释放的电荷数量。输出是通过单独的信号调理器或者电荷转换器传送到读出设备。目前压电式力传感器的研究较少,主要原因是基于压电薄膜的力传感器研究依赖于压电薄膜制备工艺以及压电性能的研究进展,与压阻式力传感器相比,制各工艺比较复...
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