一种大梯度非球面的轮廓测量方法技术资料下载

技术编号:5933727

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本发明涉及一种接触式测量方法,具体涉及一种对大梯度凹/凸非球面进行测量 的方法。背景技术接触式轮廓仪是通过仪器的测头与被测表面的滑移进行测量的,属于接触测量。 既可以测量零件的表面粗糙度,又能直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的 形状。轮廓仪按传感器的工作原理分为电感式、感应式以及压电式多种。常见结构为,传感 器的测头由金刚石制成,针尖圆弧半径为2微米,在测头的后端镶有导块,形成相对于工件 表面宏观起伏的测量的基准,使测头的位移仅相对于传感器壳体...
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