技术编号：5933889
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种温度可调控四探针方块电阻测试系统，用于测量薄膜的方块电阻，也可测量一些材料随温度变化而发生相变的相变温度，属于测量仪器。背景技术一般的四探针测试仪是测量半导体材料电阻率以及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器，用于测量棒状、块状半导体材料(包括厚片和薄片)的电阻率以及硅片上的扩散层、离 子注入层、反新外延层的方块电阻。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好，测量范围广，结构紧凑的特点，并且测量结果由数字直接显示，使用方便。但是现有的四探针测试仪...
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