技术编号：5934250
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微机电系统领域，涉及微流量测量的传感器。背景技术微流量传感是目前各种微流体系统(蛋白质分析、基因检测、微生化检测、定量药物释放)定量输出的核心问题之一。微小流量的检测技术不仅是决定这些微流体系统实际运行性能的关键因素，也是相关微流体科学问题(如微小管道内流体的流动特性、粘滞阻力等)研究的前提条件之一。一种具有高灵敏度、大动态范围的微小流量传感技术能使微流体系统具有更加精确的分析及定量能力，扩展其应用范围，同时，也能够使与之相关的科学问题的研究更加...
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