技术编号:5934661
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及ー种光学检测装置,特别是ー种平面镜反射面平整度的检测装置,属于光学。背景技术平面镜在日常生活中就有广泛的使用,目前,在检测各种平面反射镜时,采用的方法是在被检测的平面上放ー个透明样板,在透明样板的一端垫ー个薄片使样板的标准平面和被测平面之间形成ー个楔形空气薄层;利用単色光从上面照射,空气层的上下两个表面反射的两列光波发生干渉,根据干涉条纹判断平面反射镜反射面质量。这种方法測量精度受到透明样板的制作精度制约,同时透明样板的反复使用,也可能导致本...
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