技术编号:5934900
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于位移测量,具体涉及一种光纤束位移传感器。该传感器能对微小位移进行高精度非接触式测量,还可应用于振动、厚度和压力的测量。背景技术 高精度非接触式位移测量是微纳技术、微机电系统技术和精密控制技术的关键,其实现技术主要包括电测量技术和光学测量技术。电测量技术有电涡流式和电容式,它的最大缺点是受电磁干扰,这既影响了测量的精度,又限制了它的应用范围。光学测量技术主要包括激光干涉技术、焦深探测技术和光纤反射技术。激光干涉技术具有高分辨率,但它的精度和稳定性依...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。