技术编号:5935314
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于载流子复合寿命测试仪设计领域,特别涉及一种微波反射无接触硅晶体载流子复合寿命测试仪。背景技术重金属玷污是半导体材料及器件行业既严重又普通存在的问题,载流子复合寿命大小可以灵敏地反映出重金属玷污的程度,因此国内外有多种寿命仪生产。我国传统使用的高频光电导衰退寿命测试仪是ー种优异的测量块状硅晶体寿命的仪器,但测量时存在着电极接触弓I起表面沾污的问题。微波反射法是利用硅晶体在脉冲光照下引起电导率的变化,而电导率的増加引起微波反射率的増大,两者存在的...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。