技术编号：5935743
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种溅镀靶材检测机构，特别地涉及一种可通用于圆筒形靶材、平面靶材或异型靶材进行靶材内部缺陷、焊合缺陷等检测工作的溅镀靶材检测机构设计。背景技术在半导体产品的制程中，为了在基材上形成预定材料的膜层，经常通过溅镀装置利用离子化的气体(电浆)冲击溅镀靶材而释放出预定的粒子，使粒子附着于基材表面而形成所期望的该膜层。 为了避免因溅镀靶材中的缺陷影响溅镀制造制程，所述溅镀靶材通常通过溅镀靶材检测机构进行靶材内部缺陷检测、焊合缺陷检测等，进而从中筛选出不...
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